潔凈車間工程隔離裝置的檢測

一、潔凈車間工程隔離裝置和定位檢漏

根據相關規范的要求，對隔離裝置應進行檢漏測試。對工作壓力接近大氣壓的隔離裝置(壓差小于1000Pa)進行氣密性檢測時，為對泄漏進行定量測量，需要有詳細的檢測規程和靈敏的檢測設備。測試結果將決定其是否可投入預期的應用，適用時對某些隔離裝置應進行檢漏測試。因氣流通過孔洞時，由于風速產生低壓，它能誘導空氣逆向流動穿過該孔洞(文丘里效應)，這時可發生泄漏。會影響在低壓差下工作的裝置，同樣地那些利用正壓或氣流來盡量減少或防止無需物質傳遞的裝置，操作中瞬間的容積變化(例如手套進入或抽出)可導致出現風險。

1.誘導檢漏

對那些利用壓力或氣流產生風速或質量流，以減少或阻止無需物質傳輸的隔離裝置，應采用可再現的定量檢測方法來確定該系統的隔離能力。檢測方法中應考慮的因素包括：

(1)正常運行；

(2)靜態或備用狀態；

(3)(1)和(2)期間的過渡性變化；

(4)壓力或氣流故障。

在使用手套和手套系統的場合，操作者同時插入或抽出手套時，瞬間的容積變化可能導致大于1000Pa的壓差改變，檢測應包括這種容積瞬間變化。

任何有類似容積效應的設備都應進行這種檢漏。檢測設備和方法：檢測設備和檢測規程應適合于工藝。合適的檢測設備應包括：氣溶膠發生器和光度計；氣溶膠發生器和雙讀數離散粒子計數器；旋流盤液滴發生器或類似裝置及合適的探測系統。具體方法是在隔離裝置外面的關注區域生成氣溶膠，比較內外粒子的濃度，確定是否有顯著泄漏。

2.定位檢漏

封閉式隔離裝置的壓力狀態是維持其正常性能的重要方面。往往習慣性地認為隔離裝置的泄漏是均勻分布的，而非來自某個通道。這種假設對隔離裝置可能不適用，因為某個通道可能造成隔離裝置內或外的局部空氣的嚴重超標。因此應強調檢漏的重要性，當因內外壓差在某些部位存在顯著泄漏時，簡單的定位方法是將大量肥皂液涂抹到被測隔離裝置的可疑區域，肥皂泡可明示出泄漏所在。另外兩種常用的定位方法：一是向隔離裝置內充入氦氣或其他適用氣體，使隔離裝置內達到1000Pa的正壓，然后用適用探頭監測可疑區域，使用惰性氣體檢測時要格外小心；二是先用氨氣加壓，然后用濕pH試紙檢測；或利用煙霧直觀檢測、照相、錄像等可視檢查。中凈環球凈化可提供潔凈車間、凈化工程的咨詢、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。

按照對壓力檢漏的不同靈敏度，有以下排序：

(1)用適當的表面活性劑進行氣泡檢測；

(2)使用熱傳導探頭探測CO₂，He，Ar等氣體；

(3)使用電離檢測器探測SF₆；

(4)使用氦質譜檢漏儀探測氦氣。需要注意的是，氦氣會滲入聚合材料，材料釋放氣體可能產生信號。

采用上述示蹤氣體的方法，可以辨別泄漏程度，但都不能定量。

二、潔凈車間工程隔離裝置氣密性壓力檢漏

檢漏方法如下：

對剛性壁負壓隔離裝置，相關規范規定了三種檢漏方法：含氧法、壓力變化法和恒壓法。普通泄漏量檢測在正常工作壓力(通常約250Pa)下進行，驗收檢測的壓力可高達1000Pa。上述方法是為負壓檢測規定的，其中只有含氧法既可進行正壓檢測，又可進行負壓檢測。在接近于大氣狀況的壓力檢測，溫度等環境參數變化會影響檢測結果，采用靈敏的儀器測量各項參數有助于提高檢測的準確度。在正常運行或系統故障期間，隔離裝置可能出現正壓也可能出現負壓。

不論正壓還是負壓，驗收檢測時須對被測隔離裝置的超高壓或超低壓情況采取安全防范措施。測試時禁止出現壓力超過經過驗證的試驗壓力，否則薄壁等部分可能會出現結構性損傷。即使是低氣壓試驗也可能造成輕型結構塌陷等損傷，對設備進行高或中度壓力氣密性檢測時需要關注更多問題。隔離裝置的升壓檢測需要恒定的容積，這類檢測方法對微小的容積變化很敏感，任何容易出現容積變化的已安裝設備不僅會造成虛假試驗結果，還可能會使密封油和油脂等物質外泄。

如果檢測介質采用壓力容器中的惰性氣體，就須在試驗前安裝必要的減壓和調壓設備，并在檢查過那些設備之后再進行檢測。需要特別注意“主動式”隔離裝置的檢測，須遵守地方安全法規。檢測前要認真調查，保證采用安全方式對隔離裝置進行隔離，并可在緊急情況下迅速返回到正常工作狀態。進行檢測前，隔離裝置須處于靜止狀態，隔離裝置的壁板或其他結構脆弱時，它的“晃動”或移動容易改變容積，如可能應在檢測期間對其加固。被試隔離裝置需要位于無陽光直射、通風不暢的地方。為保證所有設備溫度相同，檢測設備應在檢測前約30min或更長的時間就位。

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