微電子無塵室生產(chǎn)施工準備要求

       施工人員進入潔凈區(qū)應(yīng)在更衣室穿好潔凈服、潔凈鞋，并應(yīng)戴好內(nèi)置式安全帽、一次性潔凈口罩和一次性潔凈手套，經(jīng)風(fēng)淋后進入潔凈區(qū)，嚴禁從物流通道進入，進出潔凈區(qū)流程應(yīng)符合本規(guī)范要求。人員進出潔凈區(qū)的流程示例，在實施中，當建設(shè)單位已建立人員進出潔凈區(qū)管理制度時，應(yīng)遵守建設(shè)單位的規(guī)定，這些規(guī)定都是為了無塵室的凈化指標不受破壞而設(shè)置的。用于無塵室區(qū)安裝設(shè)備的材料應(yīng)符合下列規(guī)定，應(yīng)無塵、無銹、無油脂，且在使用過程中不應(yīng)產(chǎn)塵埃，設(shè)備墊板應(yīng)按設(shè)計或設(shè)備技術(shù)文件要求制作；若無要求時，可用不銹鋼板制作；對重量輕、無需調(diào)節(jié)水平度的非精密設(shè)備，也可采用厚度不小于6mm的硬PVC板制作；不銹鋼膨脹螺栓應(yīng)有產(chǎn)品合格證書；不銹鋼化學(xué)錨固螺栓除應(yīng)有產(chǎn)品合格證書外，還應(yīng)有使用說明書。用于制作獨立基礎(chǔ)和地板加固的碳鋼型材應(yīng)經(jīng)過熱鍍鋅處理。用于嵌縫的彈性密封材料的化學(xué)成分應(yīng)經(jīng)建設(shè)單位批準，材料應(yīng)有注明成分、品種、出廠日期、儲存有效期和施工方法的說明書及產(chǎn)品合格證書，不得使用過期產(chǎn)品。

用于管道氬弧焊的保護氣體、壓力試驗的氣體以及用于管道吹掃的氣體，其純度不得低于管網(wǎng)本底輸送氣體的純度。進入無塵室的材料不得附著塵埃、鐵銹、銅銹、油膩，并要求所用材料在使用過程中不生銹、不散發(fā)塵埃，避免破壞工藝環(huán)境。使用的緊固件、密封材料應(yīng)有產(chǎn)品合格證都是為了同一目的，規(guī)定用作管道氬弧焊的保護氣體、壓力試驗用氣體、吹掃氣體，其純度不得低于管網(wǎng)本底氣體的純度，是為了保證焊接質(zhì)量，防止對管道內(nèi)腔造成污染。用于潔凈區(qū)安裝的機具應(yīng)符合下列要求，潔凈區(qū)使用的機具不得在非潔凈區(qū)使用，非潔凈區(qū)使用的機具也不得在潔凈區(qū)使用；機具外露部分不應(yīng)產(chǎn)塵埃，或具有防止塵埃污染環(huán)境的措施。機具搬入潔凈區(qū)前應(yīng)在室外擦洗干凈，然后通過設(shè)備搬入口搬入氣閘室或相當?shù)膱鏊M行最后的清潔處理，應(yīng)達到無塵、無銹、無油垢的要求，并應(yīng)在經(jīng)檢查合格后貼上“潔凈”或“潔凈區(qū)專用”標識搬入；為防止對無塵室區(qū)和開箱后的設(shè)備被污染，對在無塵室區(qū)內(nèi)使用的機具需提出潔凈要求。用于室外搬運的機具應(yīng)符合下列要求，應(yīng)選用性能良好、安全可靠的機具，機具規(guī)格、參數(shù)應(yīng)能滿足設(shè)備運輸負荷及外形尺寸的要求；用于起吊設(shè)備的吊索應(yīng)有足夠的強度和韌性，在能夠滿足負荷要求時，應(yīng)采用尼龍吊帶或錦綸吊帶；當尼龍吊帶或錦綸吊帶的承載能力不能滿足起吊設(shè)備荷載要求時，應(yīng)采用較柔軟的鋼絲繩外套尼龍軟管的吊索。中凈環(huán)球凈化可提供無塵室、潔凈室等的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

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