潔凈無塵室測試方法

一、風速風量測定

(1)對于單向流潔凈無塵室，采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量。離高效過濾器0.3m，垂直于氣流的截面作為采樣測試截面，截面上測點間距不宜大于0.6m，測點數不應少于5個，以所有測點風速讀數的算術平均值作為平均風速。

(2)對于非單向流潔凈無塵室，采用風口法或風管法確定送風量，做法如下：

1)風口法是在安裝有高效過濾器的風口處，根據風口形狀連接輔助風管進行測量。即用鍍鋅鋼板或其他不產塵材料做成與風口形狀及內截面相同，長度等于2倍風口長邊長的直管段，連接于風口外部。在輔助風管出口平面上，按較少測點數不少于6點均勻布置，使用熱球式風速儀測定各測點的風速。然后，以求取的風口截面平均風速乘以風口凈截面積求取測定風量。

2)對于風口上風側有較長的支管段，且已經或可以鉆孔時，可以用風管法確定風量。測量斷面應位于大于或等于局部阻力部件前3倍管徑或長邊長，局部阻力部件后5倍管徑或長邊長的部位。

對于矩形風管、是將測定截面分割成若干個相等的小截面。每個小截面盡可能接近正方形，邊長不應大于200mm，測點應位于小截面中心，但整個截面上的測點數不宜少于3個。

對于圓形風管，應根據管徑大小，將截面劃分成若干個面積相同的同心圓環，每個圓環測4點。根據管徑確定圓環數量，不宜少于3個。

二、靜壓差的檢測

(1)靜壓差的測定應在所有的門關閉的條件下，由高壓向低壓，由平面布置上與外界較遠的里間房間開始，依次向外測定。

(2)采用的微差壓力計，其靈敏度不應低于2.0Pa。

(3)有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈無塵室，其洞口處應有合理的氣流流向。洞口的平均風速大于等于0.2m/s時，可用熱球風速儀檢測。

三、潔凈無塵室溫度、濕度測定

(1)根據溫度和相對濕度波動范圍，應選擇相應的具有足夠精度的儀表進行測定。每次測定間隔不應大于30min。

(2)室內測點布置：

1)送回風口處；

2)恒溫工作區具有代表性的地表(如沿著工藝設備周圍布置或等距離布置)；

3)沒有恒溫要求的潔凈無塵室中心；

4)測點一般應布置在距外墻表面大于0.5m，離地面0.8m的同一高度上；也可以根據恒溫區的大小，分別布置在離地不同高度的幾個平面上。

(4)有恒溫恒濕要求的潔凈無塵室：室溫波動范圍按各測點的各次溫度中偏差控制點溫度的較大值，占測點總數的百分比整理成累積統計曲線。如90%以上測點偏差值在室溫波動范圍內，為符合設計要求。反之，為不合格。中凈環球凈化可提供無塵室、潔凈車間的咨詢、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。

區域溫度以各測點中較低的一次測試溫度為基準，各測點平均溫度與超偏差值的點數，占測點總數的百分比整理成累計統計曲線，90%以上測點所達到的偏差值為區域溫差，應符合設計要求。相對溫度波動范圍可按室溫波動范圍的規定執行。

四、泄漏量測定

(1)高效過濾器的檢漏，應使用采樣速率大于1L/min的光學粒子計數器。D類高效過濾器宜使用激光粒子計數器或凝結核計數器。

(2)采用粒子計數器檢漏高效過濾器，其上風側應引入均勻濃度的大氣塵或含有他氣溶膠塵的空氣。對大于等于0.5μm塵粒，濃度應大于或等于3.5×10⁵pc/m³；對大于或等于0.1μm塵粒，濃度應大于或等于3.5×10⁷pc/m³；若檢測D類高效過濾器，對大于或等于0.1μm塵粒，濃度應大于或等于3.5×10⁹pc/m³。

(3)高效過濾器的檢測采用掃描法，即在過濾器下風側用粒子計數器的等動力采樣頭，放在距離被檢部位表面20~30mm處，以5~20mm/s的速度，對過濾器的表面、邊框和封頭膠處進行移動掃描檢查。

(4)泄漏率的檢測應在接近設計風速的條件下進行。將受檢高效過濾器下風側測得的泄漏濃度換算成透過率，高效過濾器不得大于出廠合格透過率的2倍；D類高效過濾器不得大于出廠合格透過率的3倍。

(5)在移動掃描檢測工程中，應對計數突然遞增的部位進行定點檢驗。

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